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HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度
HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度HEIDENHAIN海德漢(han)(han)特殊的(de)生(sheng)產(chan)設(she)施和(he)(he)(he)測量(liang)設(she)備造就了海德漢(han)(han)的(de)高質量(liang)產(chan)品。光刻的(de)主要和(he)(he)(he)次主要生(sheng)產(chan)過(guo)程都是在潔(jie)凈(jing)室里(li)完(wan)成的(de)，在潔(jie)凈(jing)室里(li)配備了特殊的(de)溫(wen)度穩定和(he)(he)(he)防振(zhen)動隔離裝置。仿形機和(he)(he)(he)其它生(sheng)產(chan)直線(xian)和(he)(he)(he)角度刻線(xian)用的(de)機械(xie)設(she)備都是由海德漢(han)(han)自(zi)己研發和(he)(he)(he)制造的(de)。
HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度
HEIDENHAIN海德漢特殊的生產設施和測量設備造就了海德漢的高質量產品。光刻的主要和次主要生產過程都是在潔凈室里完成的，在潔凈室里配備了特殊的溫度穩定和防振動隔離裝置。仿形機和其它生產直線和角度刻線用的機械設備都是由海德漢自己研發和制造的。
HEIDENHAIN海德漢封閉式光柵尺能有效防塵、防切屑和防飛濺的切削液，是用于機床的理想選擇。
敞開式光柵尺(chi)與(yu)讀數頭和光柵尺(chi)或鋼帶(dai)間(jian)沒有機(ji)械接觸。這些光柵尺(chi)的(de)典(dian)型(xing)應用包括：測量機(ji)、比(bi)較儀和其它(ta)長(chang)度(du)計量精密(mi)設備以及生(sheng)產和測量設備，例如用在半導體工業中(zhong)。
增量式光柵尺決定當(dang)前位置的(de)方式是由(you)原(yuan)點開(kai)始數測量步距或細(xi)分電路的(de)計數信號數量。海德漢(han)的(de)增量式光柵尺帶有參考(kao)點，開(kai)機時必須執行參考(kao)點回零(ling)，操作非常簡單、快捷。
式(shi)光(guang)柵(zha)尺(chi)無需執行(xing)參考點回零(ling)操作(zuo)就能直(zhi)接提(ti)供當(dang)前位(wei)置值。光(guang)柵(zha)尺(chi)的位(wei)置值通過EnDat接口或其(qi)它串行(xing)接口傳(chuan)輸。
敞開(kai)式(shi)直線(xian)光柵尺
敞開式直線光柵尺設計用于對測(ce)量精度要求(qiu)*的機床和系統(tong)。
典型應用包括：
半導體業的測量(liang)和生產設(she)備
PCB電路板組裝機(ji)
超高精度(du)機床
高精度(du)機(ji)床
測(ce)量機和比(bi)較儀(yi)，測(ce)量顯(xian)微鏡和其它精密(mi)測(ce)量設(she)備(bei)
直驅(qu)電機
HEIDENHAIN海德漢光柵尺規格 |
LC 195 S |
LC 195 S |
LC 195 F |
LC 195 M |
測量標準(zhun) 線膨(peng)脹系數 | 帶(dai)軌(gui)道和增量軌(gui)道的Diadur玻璃秤，光(guang)柵(zha)周(zhou)期20微米 αtherm？8 x 10–6 k–1 | |||
精度等級* | 測量長度為±3微(wei)米(mi)(mi)至3040毫米(mi)(mi)；±5微(wei)米(mi)(mi) | |||
測量長度ml*in mm | 140 240 340 440 540 640 740 840 940 1040 1140 1240 1340 1440 1540 1640 1740 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040 3240 3440 3640 3840 4040 4240 | |||
功能安全(quan) 適(shi)用于(yu)以(yi)下(xia)應用程序 |
| – | ||
PFH | 25 x 10–9; ML > 3040 mm: 40 x 10–9 (海(hai)拔高達(da)1000米(mi)) | – | ||
安全位置1) | 編碼器(qi)：±550μm；ml>3040 m m：±2050μm （安全(quan)相關(guan)測量(liang)步(bu)驟sm=220μm） | – | ||
機(ji)械連(lian)接：外殼和掃描裝置松(song)動(dong)故障排除（第21頁） | ||||
界面 | DRIVE-CLiQ | Fanuc串(chuan)行接口(kou)/αi接口(kou) | 三菱高速(su)接口(kou) | |
訂購(gou)名稱 | DQ01 | Fanuc05 | Mit03-04 | |
測量步(bu)驟 At ±3 µm At ±5 µm |
0.001 µm 0.010 µm | αI接(jie)口/α接(jie)口 0.00125 µm/0.010 µm 0.0125 µm/0.050 µm |
0.001 µm 0.010 µm | |
時鐘頻率（計算(suan)時間TCAL） | – | |||
電(dian)氣連接 | 分離可在(zai)兩側(ce)連接到安裝(zhuang)塊(kuai)的適配器(qi)電纜（1 m/3 m/6 m/9 m） | |||
電纜長度 | ≤ 30 m2) | ≤ 50 m | ≤ 30 m | |
電壓(ya)供應(ying) | DC 10 V to 28.8 V | DC 3.6 V to 14 V | ||
功耗（大） | 10 V: ≤ 1.5 W; 28.8 V: ≤ 1.7 W | 3.6 V: ≤ 1.1 W; 14 V: ≤ 1.3 W | ||
橫(heng)移速度 | ≤ 180 m/min (max. acceleration ≤ 100 m/s2) | |||
所需移動力 | ≤ 4 N | |||
振動55赫茲至2000赫茲 沖擊11毫秒 | 外殼：≤200 m/s2（EN 60 068-2-6） 掃(sao)描單元：≤200 m/s2（EN 60 068-2-6） ≤300 m/s2（EN 60 068-2-27） | |||
工作溫度(du) | 0 °C to 50 °C | |||
保護EN 60 5293） | 當根據手冊說明安(an)裝時，防護等級為IP53，防護等級為IP64，密(mi)封空氣來自DA 400。 | |||
質量 | 0.55 kg+2.9 kg/m測量長度 | |||
*訂(ding)購時請選擇 1）位置值(zhi)比較(jiao)后(hou)，后(hou)續(xu)(xu)電子設備中可能會出現進一步的(de)公差（聯系后(hou)續(xu)(xu)電子設備的(de)制造商） 2）根(gen)據(ju)要求延長電纜長度 3）在(zai)應用中(zhong)，LC必須防止顆粒和(he)液體侵入。 | ||||
HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度
